日企大举攻坚EUV光刻!砸90亿力夺半导体设备高地

语言: CN / TW / HK

芯东西(ID:aichip001)

编 | 董温淑

芯东西 713 日消息,要想制造 5nm 及更先进芯片,离不开 EUV (极紫外光)光刻技术,目前多家日本芯片设备制造商正积极争夺 EUV 适用的制造设备市场份额。

2020 财年,全球第三大半导体设备制造商东京电子( Tokyo Electron )拨出 1350 亿日元(约合 87.8 亿人民币)用于 EUV 高端设备研发,这是东京电子本财年最大一笔研发支出。作为全球唯一一家 EUV 适用的芯片检测设备制造商,日本的 Lasertec 已获得 658 亿日元(约合43.4亿人民币)的订单。

一、 EUV 技术将为芯片制造设备市场带来近4000亿收入

芯片加工精度取决于光刻机光线的波长,光线波长越小,芯片精度越高。随着摩尔定律发展,芯片制造迈进 10nm 节点,波长 13.4nmEUV (极紫外光)就成为唯一的选择。

据《日本经济新闻》报道, EUV 技术每年能够为芯片制造设备市场带来的的价值超过 6 万亿日元(约合 565 亿美元、 3970 亿人民币)。

目前,荷兰光刻机制造商 ASML 在光刻机市场中占据主导地位,也是唯一能生产 EUV 光刻机的厂商。台积电、三星电子等全球领先的芯片制造商从 2019 年开始用 ASML 生产的 EUV 光刻机生产芯片。

另外, 5G 和其他先进技术的发展也导致高端芯片需求量增长,进一步驱动着 EUV 市场的发展。

在这一风口下,芯片设备制造商正努力开发与 EUV 光刻技术配套的其他设备。日本厂商成为这一领域的活跃者,正加大对 EUV 光刻检测设备、 EUV 光源设备的投入。

二、砸钱研发?赢订单?日本玩家看好EUV市场

东京电子是全球第三大半导体设备制造商,主要产品是光阻涂布及显影系统( coater/developer  )。在适用于 EUV 的大规模生产用光阻涂布及显影系统市场中,东京电子占据了全部市场份额。

2020 财年,东京电子计划投入 1350 亿日元(约合 12.5 亿美元、 87.8 亿人民币)用于 EUV 设备的研发,该研发项目将于 2020331 日结束。另外,东京电子计划拿出今年合并销售额的 10% (预计为 1.28 万亿日元,约合 843.9 亿人民币),用于巩固其在 EUV 设备领域的前沿地位。

东京电子总裁河井俊树说: 如果 EUV 得到广泛应用,对于高端设备的需求将会增加。

另一家日本半导体设备公司 Lasertec 凭借芯片检测设备从 EUV 技术风口中获利。从去年 7 月至今年 3 月, Lasertec 赢得价值 658 亿日元(约合43.4亿人民币)的 EUV 适用检测设备订单,订单额比去年同期增长 2.2 倍,预计该设备的订单将占据 Lasertec 全年订单的三分之二。

Lasertec 公司位于日本横滨,其产品能够在基于 EUV 技术的芯片生产过程中进行早期测试。目前, Lasertec 是该领域唯一一家制造商。

三、日本 EUV光源厂商拟打“翻身仗”

日本企业之间的竞争也在加剧。在电子束掩膜 光刻 设备市场,东芝集团旗下的 NuFlare Technology 、日本电子( JEOL )、   奥地利 IMS Nanofabrication 形成一个联盟,正在集中开发能够发射 26 万束激光的 多光束 设备。

为了防止被全球最大的光掩膜板制造商豪雅( Hoya )收购,今年一月份起,东芝加强对 NuFlare Technology 的控制,向后者增派 25 名工程师及其他管理者,以期在 2020 财年实现下一代 EUV 适用设备出货。

EUV 技术出现之前,日本建筑机械制造商 Komatsu 旗下子公司 Gigaphoton ,与 Cymer 并称为全球前两大曝光机用光源制造商。 2013 年, ASML 收购了 CymerGigaphoton 因此在曝光机用光源市场失去优势。

近期, Gigaphoton 计划通过开发新的光源部件夺回市场份额,并拟在 2022ASML 发布新一代 EUV 光刻机之前完成这一过程。

结语: EUV 技术将加速芯片设备制造市场洗牌

根据国际半导体和材料协会( SEMI )和日本半导体设备协会的数据,在过去 20 年间,日本芯片设备制造商保持着 30% 的市场份额, 2019 年这一数据为 31.3%

日本的尼康和佳能一度主导着全球光刻机市场,但从 2007 年起被荷兰的 ASML 彻底超越,随后放弃了对 EUV 技术的研发。

近期,随着市场对先进制程芯片的需求加大,EUV技术随之迎来风口。东京电子等日本芯片制造设备厂商正积极布局,以期在新的市场格局中占据有利地位。 Lasertec公司则从EUV风口中获利,其EUV适用的芯片检测设备大卖。

作为突破10nm制程节点必不可少的技术,EUV或将成为驱动芯片设备市场变化的一个关键因素。

目前,在芯片设备制造市场中, 赢者通吃 的趋势正越发强劲,制造过程中的挑战也日益增多。由 EUV 技术引发的新一代产品变革,将加速削减芯片设备制造商的数量。

文章来源: Nikkei Asian Review

分享到: